Malzeme Karakterizasyonu ve X Işınları MALZEME KARAKTERİZASYONU-Bölüm 4-Elektron Mikroskopi Görüntüleme ve Mikroanaliz MALZEME KARAKTERDZASYONU BÖLÜM 4 ELEKTRON MDKROSKOPDSD : GÖRÜNTÜLEME ve MDKROANALDZTablo 4.1. Çeşitli mikroskopların ayırma güçleriŞekil 4.1. Ayırma gücü (çözünürlük-resolution) ve büyütme (magnification) açısından numune incelemede kullanılan yöntemlerin karşılaştırılmasıŞekil 4.2. Elektron demeti-numune etkileşimiŞekil 4.3. Dkincil elektron ve geri saçınan elektronların enerji dağılımıŞekil 4.4. Işık mikroskobu ve Tarama elektron mikroskobunun ayırma gücü (D ), netlik derinliği (T) ve büyütme (M) açısından karşılaştırılmasıŞekil 4.5. Taramalı elektron mikroskobu prensip şemasıŞekil 4.6. Elektron tabancasının şematik görünümü (a) Çalışma prensibiŞekil 4.6. Elektron tabancasının şematik görünümü (b) LaB 6 tipi katotŞekil 4.7. Elektromanyetik mercekŞekil 4.8. SE sintilatör ve fotoçoklayıcıŞekil 4.9. Elektron mikroskobunda oluşabilecek mercek kaynaklı görüntü hatalarıŞekil 4.9. Elektron mikroskobunda oluşabilecek mercek kaynaklı görüntü hatalarıŞekil 4.10. Dkincil (a) ve geri saçınan (b) elektronlar için gölge efekti oluşumuŞekil 4.11. Köşe efekti ile elektron veriminin değişimiŞekil 4.12. Dkincil elektron verimi, d ve geri saçınma katsayısı, h ile atom numarası ilişkisiŞekil 4.13. SE, BSE ve absorbe edilen elektronlarla oluşturulmuş topografik ve materyal kontrast görüntüleriŞekil 4.14. (a) SEM, topografik kontrast, saat vidasıŞekil 4.14. (b) SEM, topografik kontrast, iğne ucu ve iğne deliğiŞekil 4.15. (a) SEM, topografik kontrast, derin dağlama, Toz metalurjik numunede karbür iskeletiŞekil 4.15. (b) SEM, topografik kontrast, toz yüzeyi morfolojisiŞekil 4.16. SEM görüntüleri; (a) Topografik kontrast, yapı çeliği mikroyapısı Şekil 4.16. SEM görüntüleri; (b) Materyal kontrast, sert metal mikroyapısı Şekil 4.28. Foto Emisyon Elektron Mikroskobunda görüntü oluşumunun şematik gösterimiŞekil 4.29. Grafitin büyüme spirallerinin PEEM görüntüsü; saf topografik kontrastŞekil 4.30. Si alaşımlı çeliğin rekristalizasyonunu gösteren PEEM görüntüsü; oryentasyon kontrastı. Tane sınırları hafif bir şekilde hareket ederken kontrast yoğun bir şekilde değişmiştir. (a) 765 C de, (b) 790 C deŞekil 4.31. Perlitik dökme demir mikroyapısında steadit fazının PEEM görüntüsü; parlatılmış numunede materyal kontrast. Görüntüde bulunan fazlar ve ilgili kontrastları: 1. Perlitik matriks: a -Fe + Fe 3 C; koyu gri: a -Fe (ferrit), açık gri: Fe 3 C (sementit). 2. Steadit: a -Fe+Fe 3 C+Fe 3 P; beyaz/aydınlık: Fe 3 P (fosfit), açık gri: Fe 3 C (sementit), koyu gri: ferrit. 3. Blokvari partikül: orta gri: TiCN (titanyumkarbonitrür), siyah: MnSŞekil 4.32. Tipik bir ledeburitik çelik olan yüksek hız çeliğinin katılaşma yapısı; açık gri: g -Fe, koyu gri/siyah: M 6 C karbürüŞekil 4.33. Yüksek hız çeliği tozunun katılaşma yapısı; açık gri: g -Fe, koyu gri/siyah: M 6 C karbürü, koyuca gri: splat katmanıŞekil 4.34. Yüksek hız çeliğinin nihai mikroyapısı; açık gri: g -Fe, koyu gri: MC karbürü, beyaz/aydınlık: M 6 C karbürüŞekil 4.35. Ni-atom-%6 Sn alaşımının PEEM materyal kontrast ve oryentasyon kontrast görüntüsü; 850 C de 75 dak. PEEM içinde yapılan yaşlandırma. Açık gri-koyu gri oryentasyon kontrastı: a 0 fazı, beyaz/aydınlık: a fazı, siyah: b (Ni 3 Sn) fazı. (Ni 3 Sn)