Malzeme Karakterizasyonu ve X Işınları MALZEME KARAKTERİZASYONU-Bölüm 6-Auger Elektron Spektroskopisi MALZEME KARAKTERDZASYONU BÖLÜM 6 AUGER ELEKTRON SPEKTROSKOPDSD (AES)Şekil 6.1. Auger elektron spektroskopisinin önemli parçaları. Büyütülmüş çizimde primer elektronların tahrik derinliği ze ve Auger elektronları tarafından belirlenen enformasyon derinliği zl (daha küçük olan derinlik) gösterilmiştir.Şekil 6.2. Farklı malzemelere ait deneysel olarak belirlenen ortalama çıkış derinlikleri (l )-elektron enerjisi grafiği (XPS , UPS ve AES ).Şekil 6.3. Enerji dağılımı N(E) ve birinci türevi dN(E)/dE (CMA ölçümü, Ep = 5 keV, karbon kontaminasyonlu silisyum oksit tabaka)Şekil 6.4. Bir atomun enerji seviyelerinde Auger elektronları ve karakteristik X-ışınları oluşumunun şematik gösterimi Şekil 6.5. Tipik Auger geçişlerinin şematik enerji diyagramı ; (a) Dç kabuk geçişi (b) Valans bandı geçişi (c) Coster-Kronig geçişiTablo 6.1. Kükürt (Z=16) için hesaplanan Auger enerjileriŞekil 6.6. Elementlerin başlıca Auger elektron enerjileriŞekil 6.7. Atom numarasına bağlı olarak iyonizasyon enerjileri E K , E L1 , E L2,3 , E M1 ve E M2,3 (sağ taraf) ve Auger geçiş olasılıkları r K ve r L .Şekil 6.8. Auger elektron verimi, a nın atom numarası Z ilişkisi (X- ışın fluoresan verimi tamamlayıcıdır: a+w = 1). Şekil 6.9. Geciktirici potansiyel analizörlü bir AES düzeneği (LEED-Auger sistemi)Şekil 6.10. Silindirik ayna analizörlü (CMA) bir AES düzeneğiŞekil 6.11. Bir bakır numunenin Auger spektrumunun; (a) Atmosferden vakum haznesi içerisine transfer sonrası (b) 1 keV Ar+ iyon bombardımanıyla sputter temizlemesi sonrası (kaldırılan tabaka kalınlığı ~ 30 nm)Şekil 6.12. (a) Kaplamalı bir takım malzemesi mikroyapısı, SEM, dağlanmış (b) Kaplama-takım malzemesi arayüzeyine ait AES kompozisyon profili